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生产型一维材料制备CVD系统

发布时间： 1970-01-01 00:00:00 浏览次数：1329

设备简介：

本系统主要包含多温区高温加热系统、进出气控制系统、电动开盖系统、自动进液系统、PLC自动化控制系统及物料收集系统。

大尺寸碳化硅炉管及高达1380℃的最高工作温度，可极大提高生产效率并适配更广泛的应用领域。

产品详情

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设备特点

1、六温三控加热系统，温场分布更均匀；
2、高纯硅碳棒加热，最高工作温度1380℃，可满足更多CVD领域需求；
3、六路质量流量计(MFC)气体控制，同时设置有真空系统配合进出气系统使用，可以实现自动抽真空-补气循环流程，以最快的速度排空腔体内部的氧气；
4、电动开盖系统，方便炉管的维护及更换；
5、4.3英寸彩色触摸液晶屏，并支持多种工作模式的高精密注射泵，可以根据客户需要选择不同容积的针管进行试样的注射；同时可以跟随工艺曲线设置注射泵的开关，无需后期的人为操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自动化控制系统集成了设备上所有的控制，包含加热和各种动作都能够在屏幕上进行操作，并且能够跟随工艺曲线设置不同的进气和流量的设置，可以实现不同工艺下的快速组合，并且支持数据导出及预存和调用配方功能。

产品型号

NBD-T1500-200T66D6Z

供电电源

三相380V 50HZ

控温精度

±1℃

额定功率

36KW

传感器类型

S型热电偶

极限温度

1500℃

长期工作最高温度

1380℃

加热元件

高纯硅碳棒

温区尺寸

260*240*1430mm

炉管材质

反应烧结碳化硅

注射泵供给速度

5-10ml/小时

推荐升温速率

≤3℃/min（注意：超过最大升温速率可能会导致炉管断裂）

炉管尺寸

内径φ180mm，壁厚10mm，长2150mm

炉体外形尺寸

长3700×深1000×高1420mm

上盖打开方式

电动开合最大角度45度

基于PLC控制单元的全触屏智能人机交互系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

物料收集系统：

1、通过不锈钢波纹管与碳化硅炉管相连，有效保护高温工作中的碳化硅炉管；
2、高纯石英观察窗，可随时观察物料收集状态；
3、手动阀和电磁阀双重保障，确保出气控制稳定运行；
4、收集腔室内部配置多孔收集板，可提高物料收集效率；
5、收集系统通过手轮调节与炉管的距离，并可通过旋转与炉体保持一定角度，方便物料的取出。