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高温高真空CVD一体机
发布时间:2022-8-16 9:13:57 浏览次数:1956
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设备简介: NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。 控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。
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技术参数:
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设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。 |
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产品型号 |
NBD-T1700-80T22G3Z |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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触摸屏尺寸 |
15.6英寸 |
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额定功率 | 10KW | ||||||||
传感器类型 |
B型 |
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推荐升温速率 |
≤10/min |
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炉管尺寸 |
Ø80*1200mm |
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极限真空度 |
6×10-4Pa |
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炉体外形净尺寸 |
长1690×高1410×深765mm |
||||||||
无油涡旋式干式真空泵 (前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。) |
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控制系统
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。
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气体系统(可选购) |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
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设备简介: NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。 控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。
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技术参数:
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设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。 |
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产品型号 |
NBD-T1700-80T22G3Z |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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触摸屏尺寸 |
15.6英寸 |
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额定功率 | 10KW | ||||||||
传感器类型 |
B型 |
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推荐升温速率 |
≤10/min |
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炉管尺寸 |
Ø80*1200mm |
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极限真空度 |
6×10-4Pa |
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炉体外形净尺寸 |
长1690×高1410×深765mm |
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无油涡旋式干式真空泵 (前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。) |
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控制系统
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。
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气体系统(可选购) |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
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设备简介: NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。 控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。
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技术参数:
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设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。 |
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产品型号 |
NBD-T1700-80T22G3Z |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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触摸屏尺寸 |
15.6英寸 |
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额定功率 | 10KW | ||||||||
传感器类型 |
B型 |
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推荐升温速率 |
≤10/min |
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炉管尺寸 |
Ø80*1200mm |
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极限真空度 |
6×10-4Pa |
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炉体外形净尺寸 |
长1690×高1410×深765mm |
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无油涡旋式干式真空泵 (前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。) |
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控制系统
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。
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气体系统(可选购) |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
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设备简介: NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。 控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。
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技术参数:
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设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。 |
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产品型号 |
NBD-T1700-80T22G3Z |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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触摸屏尺寸 |
15.6英寸 |
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额定功率 | 10KW | ||||||||
传感器类型 |
B型 |
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推荐升温速率 |
≤10/min |
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炉管尺寸 |
Ø80*1200mm |
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极限真空度 |
6×10-4Pa |
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炉体外形净尺寸 |
长1690×高1410×深765mm |
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无油涡旋式干式真空泵 (前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。) |
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控制系统
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。
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气体系统(可选购) |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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设备简介: NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。 控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。
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技术参数:
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设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。 |
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产品型号 |
NBD-T1700-80T22G3Z |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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触摸屏尺寸 |
15.6英寸 |
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额定功率 | 10KW | ||||||||
传感器类型 |
B型 |
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推荐升温速率 |
≤10/min |
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炉管尺寸 |
Ø80*1200mm |
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极限真空度 |
6×10-4Pa |
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炉体外形净尺寸 |
长1690×高1410×深765mm |
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无油涡旋式干式真空泵 (前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。) |
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控制系统
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。
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气体系统(可选购) |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
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